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怎樣操作氣體純化?
氣體混配是將兩種或兩種以上有效組分氣體按照特定比例混合,得到多組分均勻分布的混合氣體。
氣瓶處理是根據(jù)載氣性質(zhì)及需求的不同,對氣瓶內(nèi)部、內(nèi)壁表面及外觀進(jìn)行處理的過程,以保證氣體存儲、運(yùn)輸過程中產(chǎn)品的穩(wěn)定。氣體充裝是指通過壓力差將氣體充入氣瓶等壓力容器;氣體分析檢測即為對氣體的成分進(jìn)行分析、檢測的過程。
電子特氣中水汽、氧等雜質(zhì)組易使半導(dǎo)體表面生成氧化膜,影響電子器件的使用壽命,含有的顆粒雜質(zhì)會造成半導(dǎo)體短路及線路損壞。
而伴隨半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展,產(chǎn)品的生產(chǎn)精度越來越高。以集成電路制造為例,其電路線寬已經(jīng)從Z初的毫米級,到微米級甚至納米級,對應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的電子特氣純度亦提出了更高的要求。
工業(yè)上大規(guī)模生產(chǎn)氧氣廣泛采用液態(tài)空氣分餾法。
首先使空氣通過過濾器除去塵埃等固體雜質(zhì),進(jìn)入壓縮機(jī)壓縮,再經(jīng)過分子篩凈化器除去水蒸氣和二氧化碳等雜質(zhì)氣體。在這里分子篩可使氮?dú)?、氧氣等較小分子通過,起到篩選分子的作用。然后進(jìn)行冷卻、降壓,當(dāng)溫度降至—170℃左右時,空氣開始部分液化進(jìn)入精餾塔,根據(jù)空氣中各氣體的不同沸點(diǎn)進(jìn)行分餾。液態(tài)氧的沸點(diǎn)比液態(tài)氮的沸點(diǎn)高,兩者相比液氮更易氣化。經(jīng)多步分餾可以得到99%以上的純氧,同時得到氮?dú)夂吞崛∠∮袣怏w的原料。
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