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半導(dǎo)體器件變得越來(lái)越小,幾何結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜,使用的材料越來(lái)越多,給工藝氣體的純度帶來(lái)了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會(huì)對(duì)芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。信陽(yáng)純化氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲(chǔ)設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。純化價(jià)格為了保持競(jìng)爭(zhēng)力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對(duì)污染物采取必要的凈化措施勢(shì)在必行。
當(dāng)氣體分子運(yùn)動(dòng)到固體表面上時(shí),由于固體表面原子剩余引力的作用,氣體中的一些分子便會(huì)暫時(shí)停留在固體表面上,這些分子在固體表面上的濃度增大,這種現(xiàn)象稱為氣體分子在固體表面上的吸附。信陽(yáng)純化吸附物質(zhì)的固體稱為吸附劑,被吸附的物質(zhì)稱為吸附質(zhì)。純化價(jià)格按吸附質(zhì)與吸附劑之間引力場(chǎng)的性質(zhì),吸附可分為化學(xué)吸附和物理吸附?;瘜W(xué)吸附:即吸附過程伴隨有化學(xué)反應(yīng)的吸附。在化學(xué)吸附中,吸附質(zhì)分子和吸附劑表面將發(fā)生反應(yīng)生成表面絡(luò)合物,其吸附熱接近化學(xué)反應(yīng)熱?;瘜W(xué)吸附需要一定的活化能才能進(jìn)行。通常條件下,化學(xué)吸附的吸附或解吸速度都要比物理吸附慢。石灰石吸附氯氣,沸石吸附乙烯都是化學(xué)吸附。
①如果混入了氯化氫氣體:供應(yīng)純化將氣體通過飽和碳酸氫鈉溶液,使碳酸氫鈉和鹽酸反應(yīng),生成二氧化碳。②如果混入了二氧化硫:最簡(jiǎn)單的方法是低溫分餾,二氧化硫的沸點(diǎn)高,可將它們分離。③如果混入了一氧化碳:純化價(jià)格可以讓混合氣通過灼熱的氧化銅,利用一氧化碳的還原性,還原氧化銅后生成二氧化碳。
目前主流的氦氣提純的方法主要有低溫精餾法、選擇吸附法、化學(xué)反應(yīng)法、薄膜擴(kuò)散法。供應(yīng)純化低溫精餾法是利用氣體的物理性質(zhì)的差異既每種氣體的沸點(diǎn)和凝固點(diǎn)不一樣,在低溫下冷凝獲得不同的氣體的組分,將氦氣的雜質(zhì)剔除。選擇吸附法則很容易理解,通過吸附劑對(duì)于每種雜質(zhì)吸附能力的不同,利用類似于“過濾”的原理,純化價(jià)格將氦氣提純,這種氦氣提純的方法一般使用硅膠、分子篩等作為吸附劑。
運(yùn)用氮?dú)夂?,胎壓安穩(wěn)體積改變小,大大下降了輪胎不規(guī)則磨擦的或許性,如冠磨、胎肩磨、偏磨,行進(jìn)了輪胎的運(yùn)用壽數(shù);橡膠的老化是受空氣中的氧分子氧化所構(gòu)成的,老化后其強(qiáng)度及彈性下降,且會(huì)有龜裂現(xiàn)象,這時(shí)構(gòu)成輪胎運(yùn)用壽數(shù)縮短的原因之一。供應(yīng)純化能極大極限地打掃空氣中的氧氣、硫、油、水和其它雜質(zhì),有用下降了輪胎內(nèi)襯層的氧化程度和橡膠被腐蝕的現(xiàn)象,信陽(yáng)純化不會(huì)腐蝕金屬輪輞,延伸了輪胎的運(yùn)用壽數(shù),也極大程度削減輪輞生銹的情況。
信陽(yáng)純化就是使用活性金屬與氬氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng),消化掉氬氣中的氧氣,從而達(dá)到脫氧的目的,經(jīng)過分子篩吸收掉氬氣中的水份,使氬氣的含水量小于1ppm。供應(yīng)純化采用吸氣劑。在一定溫度下,吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經(jīng)吸收處理后,氬氣的純度可達(dá)到6個(gè)九,這種保護(hù)氣體更適用于制作高純度的半導(dǎo)體的單晶硅。
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