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純化價(jià)格首先使空氣通過過濾器除去塵埃等固體雜質(zhì),進(jìn)入壓縮機(jī)壓縮,再經(jīng)過分子篩凈化器除去水蒸氣和二氧化碳等雜質(zhì)氣體。在這里分子篩可使氮?dú)?、氧氣等較小分子通過,起到篩選分子的作用。然后進(jìn)行冷卻、降壓,當(dāng)溫度降至—170℃左右時(shí),推薦純化空氣開始部分液化進(jìn)入精餾塔,根據(jù)空氣中各氣體的不同沸點(diǎn)進(jìn)行分餾。液態(tài)氧的沸點(diǎn)比液態(tài)氮的沸點(diǎn)高,兩者相比液氮更易氣化。經(jīng)多步分餾可以得到99%以上的純氧,同時(shí)得到氮?dú)夂吞崛∠∮袣怏w的原料。
氦氣提純是一項(xiàng)國際前沿研究領(lǐng)域,采用的方法有低溫冷凝、膜分離、變壓吸附、化學(xué)吸附等方法。我國企業(yè)在低溫研究的基礎(chǔ)上,突破低溫冷凝分離法的研究技術(shù)瓶頸,開發(fā)工業(yè)氦氣膜分離提純技術(shù)和設(shè)備,純化價(jià)格與國際巨頭在氦氣提純技術(shù)和設(shè)備方面展開競爭,并積極研究膜分離+低溫分離的復(fù)合氦氣分離方法,威海純化結(jié)合膜分離高效性和低溫分離高回收率和高純度的特點(diǎn),將氦氣首先經(jīng)過膜分離技術(shù)進(jìn)行粗提純,然后采用低溫分離技術(shù)進(jìn)行精提純,滿足工業(yè)領(lǐng)域節(jié)能與高純的多重需要。
半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會(huì)對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。威海純化氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲(chǔ)設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。純化價(jià)格為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
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