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分子篩純化系統(tǒng)完成吸附雜質(zhì)、凈化空氣是通過吸附劑來實現(xiàn)的。純化設(shè)備價格在分子篩吸附器內(nèi)的吸附床上充填的吸附劑主要為沸石分子篩和活性氧化鋁,其中活性氧化鋁主要是吸收水分,中山純化設(shè)備分子篩吸附二氧化碳和乙炔等烴類雜質(zhì)。在相對濕度100%(即飽和) 的空氣中,活性氧化鋁的吸濕性能更優(yōu)于分子篩。在純化器的吸附床下層用活性氧化鋁吸附飽和空氣中的水分后,待水氣的濃度在氧化鋁處降低后,再利用上層的分子篩進行深度吸附。分子篩吸附器凈化程度可達出口空氣露點及二氧化碳含量的工程指標。
由于一般液氬汽化后未經(jīng)過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過了此范圍,使用氬氣的客戶不知道其質(zhì)量,所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。推薦純化設(shè)備有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何,純化設(shè)備價格只要經(jīng)過純化裝置的處理后,進入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。
半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。中山純化設(shè)備氣體和化學(xué)品的純度在先進半導(dǎo)體和存儲設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。純化設(shè)備價格為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
當氣體分子運動到固體表面上時,由于固體表面原子剩余引力的作用,氣體中的一些分子便會暫時停留在固體表面上,這些分子在固體表面上的濃度增大,這種現(xiàn)象稱為氣體分子在固體表面上的吸附。中山純化設(shè)備吸附物質(zhì)的固體稱為吸附劑,被吸附的物質(zhì)稱為吸附質(zhì)。純化設(shè)備價格按吸附質(zhì)與吸附劑之間引力場的性質(zhì),吸附可分為化學(xué)吸附和物理吸附。化學(xué)吸附:即吸附過程伴隨有化學(xué)反應(yīng)的吸附。在化學(xué)吸附中,吸附質(zhì)分子和吸附劑表面將發(fā)生反應(yīng)生成表面絡(luò)合物,其吸附熱接近化學(xué)反應(yīng)熱。化學(xué)吸附需要一定的活化能才能進行。通常條件下,化學(xué)吸附的吸附或解吸速度都要比物理吸附慢。石灰石吸附氯氣,沸石吸附乙烯都是化學(xué)吸附。
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