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日照純化設(shè)備催化劑:可以催化H2,CO,烴類等還原性氣體與O2結(jié)合生成水和CO2,一般用在雜質(zhì)含量較高時,預(yù)處理掉大量的雜質(zhì)。脫氧吸附劑:可以以化學(xué)反應(yīng)的方式去除掉O2,以物理吸附方式去除掉水和CO2。一般經(jīng)此工序后產(chǎn)氣的純度已經(jīng)足夠使用了。供應(yīng)純化設(shè)備吸氣劑:吸氣劑可以去除掉除了氬氣,氦氣等惰性氣體以外的所有氣體。(有些特制吸氣劑也不會吸收H2)主要針對N2,CH4等。
氣體提純系統(tǒng)氣體凈化提純系統(tǒng)將沼氣通過初步除水后,進入脫硫系統(tǒng),脫硫后的氣體除塵后加壓進入吸收塔,在特定的吸收劑和反應(yīng)條件下,純化設(shè)備價格調(diào)整氣體中甲烷濃度到90%,同時全部或部分除去氨、氮氧化物、硅氧烷等多種雜質(zhì)。氣體得到調(diào)整和凈化后,日照純化設(shè)備經(jīng)冷卻、分離送入天然氣管網(wǎng);溶液經(jīng)自凈系統(tǒng)將雜質(zhì)分離出來,并在再生系統(tǒng)解吸出純度大于等于95%的二氧碳氣體。
半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體。現(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。日照純化設(shè)備氣體和化學(xué)品的純度在先進半導(dǎo)體和存儲設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。純化設(shè)備價格為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
當(dāng)咱們在使用工藝氣體來進行作業(yè)時,其實都是經(jīng)過了重重的檢測后才能正式銷售的。其中就有幾種比較常見的檢驗方法。選用背壓法檢漏時,純化設(shè)備價格首要將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中,浸泡數(shù)小時或數(shù)天,假如被檢產(chǎn)品外表有漏孔,日照純化設(shè)備氦氣便經(jīng)過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中,使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。取出被檢產(chǎn)品,將外表的剩余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi),被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會經(jīng)過漏孔走漏到真空容器,再進入氦質(zhì)譜檢漏儀,然后完成被檢產(chǎn)品總漏率丈量。檢漏儀給出的漏率值為丈量漏率,需求經(jīng)過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效規(guī)范漏率。
核磁共振成像儀(MRI)采用低溫超導(dǎo)磁體技術(shù)需液氦進行冷卻,據(jù)統(tǒng)計,核磁共振成像儀占了全球氦氣用量的34%,是終端使用行業(yè)。日照純化設(shè)備雖然在發(fā)達國家核磁共振成像儀的需求量正在減少,但是發(fā)展中國家的需求量仍然強勁增長,從而保持了液氦的需求旺盛。供應(yīng)純化設(shè)備氦氣主要用于冷凝器、蒸發(fā)器、管道系統(tǒng)的檢漏。
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