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半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體。現(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。德州氣體純化設(shè)備氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。氣體純化設(shè)備價格為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
德州氣體純化設(shè)備常用方法是低溫,冷凝法。此外,在設(shè)備研制過程中還采用了大量低溫領(lǐng)域的新技術(shù),包括高壓氦氣壓縮機(jī)的減振、耐低溫高壓紫銅管道特種焊接技術(shù)、低溫高壓活接密封技術(shù)等,以優(yōu)化產(chǎn)品。氣體純化設(shè)備價格在此基礎(chǔ)上,通過在膜分離法提純技術(shù)上取得突破,通過復(fù)合提純分離方法,將純度≥10%的低純氦氣提純至99.5%以上,系統(tǒng)純化回收率≥60%。
當(dāng)氣體分子運(yùn)動到固體表面上時,由于固體表面原子剩余引力的作用,氣體中的一些分子便會暫時停留在固體表面上,這些分子在固體表面上的濃度增大,這種現(xiàn)象稱為氣體分子在固體表面上的吸附。德州氣體純化設(shè)備吸附物質(zhì)的固體稱為吸附劑,被吸附的物質(zhì)稱為吸附質(zhì)。氣體純化設(shè)備價格按吸附質(zhì)與吸附劑之間引力場的性質(zhì),吸附可分為化學(xué)吸附和物理吸附?;瘜W(xué)吸附:即吸附過程伴隨有化學(xué)反應(yīng)的吸附。在化學(xué)吸附中,吸附質(zhì)分子和吸附劑表面將發(fā)生反應(yīng)生成表面絡(luò)合物,其吸附熱接近化學(xué)反應(yīng)熱?;瘜W(xué)吸附需要一定的活化能才能進(jìn)行。通常條件下,化學(xué)吸附的吸附或解吸速度都要比物理吸附慢。石灰石吸附氯氣,沸石吸附乙烯都是化學(xué)吸附。
空分設(shè)備中,分子篩純化系統(tǒng)設(shè)置在空氣預(yù)冷系統(tǒng)之后。被壓縮的空氣經(jīng)過空氣預(yù)冷系統(tǒng)冷卻后,空氣中的水分、二氧化碳、乙炔和其他碳?xì)浠衔锏热匀淮嬖凇?a href="/tag/%E6%B0%94%E4%BD%93%E7%BA%AF%E5%8C%96%E8%AE%BE%E5%A4%87" target="_blank">氣體純化設(shè)備價格如果空氣不經(jīng)純化處理,被凍結(jié)下來的水分和二氧化碳沉積在低溫?fù)Q熱器、透平膨脹機(jī)或精餾塔里,就會堵塞通道、管路和閥門,乙炔積聚在液氧中更有爆炸的危險。定制氣體純化設(shè)備作用就是清除空氣中所含的水分、乙炔、二氧化碳、丙烯和丁烯等雜質(zhì),從而保證空分設(shè)備長期安全、可靠的運(yùn)行。
分子篩純化系統(tǒng)完成吸附雜質(zhì)、凈化空氣是通過吸附劑來實(shí)現(xiàn)的。氣體純化設(shè)備價格在分子篩吸附器內(nèi)的吸附床上充填的吸附劑主要為沸石分子篩和活性氧化鋁,其中活性氧化鋁主要是吸收水分,德州氣體純化設(shè)備分子篩吸附二氧化碳和乙炔等烴類雜質(zhì)。在相對濕度100%(即飽和) 的空氣中,活性氧化鋁的吸濕性能更優(yōu)于分子篩。在純化器的吸附床下層用活性氧化鋁吸附飽和空氣中的水分后,待水氣的濃度在氧化鋁處降低后,再利用上層的分子篩進(jìn)行深度吸附。分子篩吸附器凈化程度可達(dá)出口空氣露點(diǎn)及二氧化碳含量的工程指標(biāo)。
由于氦很輕,而且不易燃,因此它可用于填充飛艇、氣球、溫度計、電子管、潛水服等。也可用于原子反應(yīng)堆和加速器、激光器、火箭、冶煉和焊接時的保護(hù)氣體,還可用來填充燈泡和霓虹燈管,德州氣體純化設(shè)備也用來制造泡沫塑料。定制氣體純化設(shè)備由于氦在血液中的溶解度很低,因此可以加到氧氣中防止減壓病,作為潛水員的呼吸用氣體,或用于治療氣喘和窒息。液體氦的溫度(-268.93 ℃)接近零度(-273℃),因此它在超導(dǎo)研究中用作超流體,制造超導(dǎo)材料。液態(tài)氦還常用做冷卻劑和制冷劑。在醫(yī)學(xué)中,用于氬氦刀以治療癌癥。它還可以用作人造大氣層和鐳射媒體的組成部分。
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