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目前主流的氦氣提純的方法主要有低溫精餾法、選擇吸附法、化學(xué)反應(yīng)法、薄膜擴(kuò)散法。推薦高純氮純化設(shè)備低溫精餾法是利用氣體的物理性質(zhì)的差異既每種氣體的沸點(diǎn)和凝固點(diǎn)不一樣,在低溫下冷凝獲得不同的氣體的組分,將氦氣的雜質(zhì)剔除。選擇吸附法則很容易理解,通過吸附劑對于每種雜質(zhì)吸附能力的不同,利用類似于“過濾”的原理,高純氮純化設(shè)備廠家將氦氣提純,這種氦氣提純的方法一般使用硅膠、分子篩等作為吸附劑。
核磁共振成像儀(MRI)采用低溫超導(dǎo)磁體技術(shù)需液氦進(jìn)行冷卻,據(jù)統(tǒng)計,核磁共振成像儀占了全球氦氣用量的34%,是終端使用行業(yè)。清遠(yuǎn)高純氮純化設(shè)備雖然在發(fā)達(dá)國家核磁共振成像儀的需求量正在減少,但是發(fā)展中國家的需求量仍然強(qiáng)勁增長,從而保持了液氦的需求旺盛。推薦高純氮純化設(shè)備氦氣主要用于冷凝器、蒸發(fā)器、管道系統(tǒng)的檢漏。
氦氣怎么檢漏,氦氣檢漏就是利用了氦氣分子小能夠輕易進(jìn)入那些不被肉眼察覺的孔縫中,利用監(jiān)測儀器就能探測到孔縫中泄露出的氦氣。推薦高純氮純化設(shè)備檢測時首先探測到氦氣的露點(diǎn),得到氦氣的水含量,再利用色譜儀計算出氫氣、氧氣、C02氣體等雜質(zhì)。高純氮純化設(shè)備廠家氦檢漏有兩種工藝,一種是背壓法,另一種則是真空箱法。
半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。清遠(yuǎn)高純氮純化設(shè)備氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。高純氮純化設(shè)備廠家為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
清遠(yuǎn)高純氮純化設(shè)備就是使用活性金屬與氬氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng),消化掉氬氣中的氧氣,從而達(dá)到脫氧的目的,經(jīng)過分子篩吸收掉氬氣中的水份,使氬氣的含水量小于1ppm。推薦高純氮純化設(shè)備采用吸氣劑。在一定溫度下,吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經(jīng)吸收處理后,氬氣的純度可達(dá)到6個九,這種保護(hù)氣體更適用于制作高純度的半導(dǎo)體的單晶硅。
氦氣提純是一項(xiàng)國際前沿研究領(lǐng)域,采用的方法有低溫冷凝、膜分離、變壓吸附、化學(xué)吸附等方法。我國企業(yè)在低溫研究的基礎(chǔ)上,突破低溫冷凝分離法的研究技術(shù)瓶頸,開發(fā)工業(yè)氦氣膜分離提純技術(shù)和設(shè)備,高純氮純化設(shè)備廠家與國際巨頭在氦氣提純技術(shù)和設(shè)備方面展開競爭,并積極研究膜分離+低溫分離的復(fù)合氦氣分離方法,清遠(yuǎn)高純氮純化設(shè)備結(jié)合膜分離高效性和低溫分離高回收率和高純度的特點(diǎn),將氦氣首先經(jīng)過膜分離技術(shù)進(jìn)行粗提純,然后采用低溫分離技術(shù)進(jìn)行精提純,滿足工業(yè)領(lǐng)域節(jié)能與高純的多重需要。
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