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特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下,通過化學(xué)反應(yīng)得到氣體粗產(chǎn)品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產(chǎn)品精制成更高純度的產(chǎn)品。純化器公司氣瓶處理是根據(jù)載氣性質(zhì)及需求的不同,對氣瓶內(nèi)部、內(nèi)壁表面及外觀進(jìn)行處理的過程,以保證氣體存儲、運輸過程中產(chǎn)品的穩(wěn)定。潮州純化器氣體充裝是指通過壓力差將氣體充入氣瓶等壓力容器;氣體分析檢測即為對氣體的成分進(jìn)行分析、檢測的過程。
氧化鋁對空氣中的酸性組分( 例如SO2、NO2、Hcl等)部分可以吸附,而這些酸性組分對分子篩是有害的,因為它可以和分子篩吸附的水分生成酸,使分子篩的晶格受到破壞,即分子篩中毒,潮州純化器損分子篩對水較氧化鋁有較強的親合力,因而解吸時消耗的能量要多;用氧化鋁來去除水,可降低再生能耗。害了分子篩的性能。純化器公司采用雙層床后,預(yù)先用氧化鋁將水吸附,這就對分子篩起了良好的保護(hù)作用,延長分子篩的使用壽命。
半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。潮州純化器氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。純化器公司為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
潮州純化器常用方法是低溫,冷凝法。此外,在設(shè)備研制過程中還采用了大量低溫領(lǐng)域的新技術(shù),包括高壓氦氣壓縮機的減振、耐低溫高壓紫銅管道特種焊接技術(shù)、低溫高壓活接密封技術(shù)等,以優(yōu)化產(chǎn)品。純化器公司在此基礎(chǔ)上,通過在膜分離法提純技術(shù)上取得突破,通過復(fù)合提純分離方法,將純度≥10%的低純氦氣提純至99.5%以上,系統(tǒng)純化回收率≥60%。
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