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氬氣純化器公司首先使空氣通過(guò)過(guò)濾器除去塵埃等固體雜質(zhì),進(jìn)入壓縮機(jī)壓縮,再經(jīng)過(guò)分子篩凈化器除去水蒸氣和二氧化碳等雜質(zhì)氣體。在這里分子篩可使氮?dú)?、氧氣等較小分子通過(guò),起到篩選分子的作用。然后進(jìn)行冷卻、降壓,當(dāng)溫度降至—170℃左右時(shí),供應(yīng)氬氣純化器空氣開(kāi)始部分液化進(jìn)入精餾塔,根據(jù)空氣中各氣體的不同沸點(diǎn)進(jìn)行分餾。液態(tài)氧的沸點(diǎn)比液態(tài)氮的沸點(diǎn)高,兩者相比液氮更易氣化。經(jīng)多步分餾可以得到99%以上的純氧,同時(shí)得到氮?dú)夂吞崛∠∮袣怏w的原料。
煙臺(tái)氬氣純化器現(xiàn)代的工藝制作加工上面有不少的情況下,都是需要不同規(guī)格的氣體來(lái)進(jìn)行輔助作用。在不銹鋼熔煉制材過(guò)程中,每噸可吸收大約200g的氣體。不銹鋼材加工完畢,不只其表面粘有各種污染物,而且在其金屬晶格內(nèi)也吸留有必定量的氣體。氬氣純化器公司當(dāng)管路中有氣流通過(guò)期,金屬所吸留的這部分氣體會(huì)從頭進(jìn)入氣流中,污染純真氣體。當(dāng)管內(nèi)氣流為不接連活動(dòng)時(shí),管材對(duì)所通過(guò)的氣體構(gòu)成壓力下吸附,氣流接連通過(guò)期,管材所吸附的氣體又構(gòu)成降壓解析,而解析的氣體相同作為雜質(zhì)進(jìn)入管內(nèi)純真氣體中。一起,吸附、解析循環(huán)往復(fù),使得管材內(nèi)表面金屬也會(huì)發(fā)作必定的粉末,這種金屬粉塵粒子相同污染管內(nèi)純真的氣體。
半導(dǎo)體器件變得越來(lái)越小,幾何結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜,使用的材料越來(lái)越多,給工藝氣體的純度帶來(lái)了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會(huì)對(duì)芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。煙臺(tái)氬氣純化器氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲(chǔ)設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。氬氣純化器公司為了保持競(jìng)爭(zhēng)力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對(duì)污染物采取必要的凈化措施勢(shì)在必行。
目前主流的氦氣提純的方法主要有低溫精餾法、選擇吸附法、化學(xué)反應(yīng)法、薄膜擴(kuò)散法。供應(yīng)氬氣純化器低溫精餾法是利用氣體的物理性質(zhì)的差異既每種氣體的沸點(diǎn)和凝固點(diǎn)不一樣,在低溫下冷凝獲得不同的氣體的組分,將氦氣的雜質(zhì)剔除。選擇吸附法則很容易理解,通過(guò)吸附劑對(duì)于每種雜質(zhì)吸附能力的不同,利用類(lèi)似于“過(guò)濾”的原理,氬氣純化器公司將氦氣提純,這種氦氣提純的方法一般使用硅膠、分子篩等作為吸附劑。
煙臺(tái)氬氣純化器催化劑:可以催化H2,CO,烴類(lèi)等還原性氣體與O2結(jié)合生成水和CO2,一般用在雜質(zhì)含量較高時(shí),預(yù)處理掉大量的雜質(zhì)。脫氧吸附劑:可以以化學(xué)反應(yīng)的方式去除掉O2,以物理吸附方式去除掉水和CO2。一般經(jīng)此工序后產(chǎn)氣的純度已經(jīng)足夠使用了。供應(yīng)氬氣純化器吸氣劑:吸氣劑可以去除掉除了氬氣,氦氣等惰性氣體以外的所有氣體。(有些特制吸氣劑也不會(huì)吸收H2)主要針對(duì)N2,CH4等。
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