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半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會(huì)對(duì)芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。揭陽高純氮純化設(shè)備氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲(chǔ)設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。高純氮純化設(shè)備價(jià)格為了保持競(jìng)爭(zhēng)力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對(duì)污染物采取必要的凈化措施勢(shì)在必行。
由于氦很輕,而且不易燃,因此它可用于填充飛艇、氣球、溫度計(jì)、電子管、潛水服等。也可用于原子反應(yīng)堆和加速器、激光器、火箭、冶煉和焊接時(shí)的保護(hù)氣體,還可用來填充燈泡和霓虹燈管,揭陽高純氮純化設(shè)備也用來制造泡沫塑料。推薦高純氮純化設(shè)備由于氦在血液中的溶解度很低,因此可以加到氧氣中防止減壓病,作為潛水員的呼吸用氣體,或用于治療氣喘和窒息。液體氦的溫度(-268.93 ℃)接近零度(-273℃),因此它在超導(dǎo)研究中用作超流體,制造超導(dǎo)材料。液態(tài)氦還常用做冷卻劑和制冷劑。在醫(yī)學(xué)中,用于氬氦刀以治療癌癥。它還可以用作人造大氣層和鐳射媒體的組成部分。
揭陽高純氮純化設(shè)備就是使用活性金屬與氬氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng),消化掉氬氣中的氧氣,從而達(dá)到脫氧的目的,經(jīng)過分子篩吸收掉氬氣中的水份,使氬氣的含水量小于1ppm。推薦高純氮純化設(shè)備采用吸氣劑。在一定溫度下,吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經(jīng)吸收處理后,氬氣的純度可達(dá)到6個(gè)九,這種保護(hù)氣體更適用于制作高純度的半導(dǎo)體的單晶硅。
揭陽高純氮純化設(shè)備催化劑:可以催化H2,CO,烴類等還原性氣體與O2結(jié)合生成水和CO2,一般用在雜質(zhì)含量較高時(shí),預(yù)處理掉大量的雜質(zhì)。脫氧吸附劑:可以以化學(xué)反應(yīng)的方式去除掉O2,以物理吸附方式去除掉水和CO2。一般經(jīng)此工序后產(chǎn)氣的純度已經(jīng)足夠使用了。推薦高純氮純化設(shè)備吸氣劑:吸氣劑可以去除掉除了氬氣,氦氣等惰性氣體以外的所有氣體。(有些特制吸氣劑也不會(huì)吸收H2)主要針對(duì)N2,CH4等。
當(dāng)氣體分子運(yùn)動(dòng)到固體表面上時(shí),由于固體表面原子剩余引力的作用,氣體中的一些分子便會(huì)暫時(shí)停留在固體表面上,這些分子在固體表面上的濃度增大,這種現(xiàn)象稱為氣體分子在固體表面上的吸附。揭陽高純氮純化設(shè)備吸附物質(zhì)的固體稱為吸附劑,被吸附的物質(zhì)稱為吸附質(zhì)。高純氮純化設(shè)備價(jià)格按吸附質(zhì)與吸附劑之間引力場(chǎng)的性質(zhì),吸附可分為化學(xué)吸附和物理吸附?;瘜W(xué)吸附:即吸附過程伴隨有化學(xué)反應(yīng)的吸附。在化學(xué)吸附中,吸附質(zhì)分子和吸附劑表面將發(fā)生反應(yīng)生成表面絡(luò)合物,其吸附熱接近化學(xué)反應(yīng)熱?;瘜W(xué)吸附需要一定的活化能才能進(jìn)行。通常條件下,化學(xué)吸附的吸附或解吸速度都要比物理吸附慢。石灰石吸附氯氣,沸石吸附乙烯都是化學(xué)吸附。
氦氣提純是一項(xiàng)國(guó)際前沿研究領(lǐng)域,采用的方法有低溫冷凝、膜分離、變壓吸附、化學(xué)吸附等方法。我國(guó)企業(yè)在低溫研究的基礎(chǔ)上,突破低溫冷凝分離法的研究技術(shù)瓶頸,開發(fā)工業(yè)氦氣膜分離提純技術(shù)和設(shè)備,高純氮純化設(shè)備價(jià)格與國(guó)際巨頭在氦氣提純技術(shù)和設(shè)備方面展開競(jìng)爭(zhēng),并積極研究膜分離+低溫分離的復(fù)合氦氣分離方法,揭陽高純氮純化設(shè)備結(jié)合膜分離高效性和低溫分離高回收率和高純度的特點(diǎn),將氦氣首先經(jīng)過膜分離技術(shù)進(jìn)行粗提純,然后采用低溫分離技術(shù)進(jìn)行精提純,滿足工業(yè)領(lǐng)域節(jié)能與高純的多重需要。
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