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半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。商丘純化器氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。純化器廠家為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
首要的一點(diǎn)就是在汽車的應(yīng)用上面,加強(qiáng)車輛輪胎部分駕駛的防護(hù)作用和舒服性。氮?dú)夂喼睘槎栊缘碾p原子氣體,化學(xué)性質(zhì)極不生動(dòng),氣體分子比氧分子大,不易熱脹冷縮,變形崎嶇小,供應(yīng)純化器其浸透輪胎胎壁的速度比空氣慢約30~40百分比, 商丘純化器能保持安穩(wěn)胎壓,行進(jìn)輪胎行進(jìn)的安穩(wěn)性,確保駕御的舒適性;氮?dú)獾囊纛l傳導(dǎo)性低,相當(dāng)于一般空氣的1/5,運(yùn)用氮?dú)饽苡杏孟鳒p輪胎的噪音,行進(jìn)的安靜度。
氦氣的密度為0.1786g/L,而氮?dú)鉃?.251 g/L,氦氣和氮?dú)庀啾茸匀皇呛飧p,所以我們可以使用氦氣作為飛行器的填充氣體,供應(yīng)純化器除了氫氣之外也就是氦氣能夠飄浮在天空。不過如果只是為安全考慮,并不需要考慮能否漂浮的話,商丘純化器的工業(yè)氦氣和氮?dú)舛伎梢猿溲b氣球,并且氮?dú)飧咏?jīng)濟(jì)實(shí)惠。此外氦氣的沸點(diǎn)是已知所有物質(zhì)中低的,所以盡管氦氣和氮?dú)饽軌蛑评?,但是制冷效果肯定是氦氣更佳!而?shí)際情況是液氦是許多超低溫物理實(shí)驗(yàn)中無法替代的制冷劑,而氮?dú)庵评鋭t通常用在液氮快速揮發(fā)的過程中,大量吸收熱量,從而有了快速制冷效果,但是氣態(tài)氮?dú)獠痪邆渲评淠芰Α?/p>
電子特氣的分離和提純方法原理上可分為精餾分離、分子篩吸附分離以及膜分離三大類,在實(shí)際提純分離過程中,為了達(dá)到更好的分離效率,商丘純化器往往會利用多種分離方法進(jìn)行組合,工藝更為復(fù)雜。純化器廠家隨著電子特氣的純度越來越高,對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求,檢測限從最早的ppm級已經(jīng)發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line),原位分析(insitu)等幾個(gè)階段。對于高純度電子氣體的分析,國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測,因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。
氦氣提純是一項(xiàng)國際前沿研究領(lǐng)域,供應(yīng)純化器采用的方法有低溫冷凝、膜分離、變壓吸附、化學(xué)吸附等方法。我國企業(yè)在低溫研究的基礎(chǔ)上,突破低溫冷凝分離法的研究技術(shù)瓶頸,純化器廠家開發(fā)工業(yè)氦氣膜分離提純技術(shù)和設(shè)備,與國際巨頭在氦氣提純技術(shù)和設(shè)備方面展開競爭,并積極研究膜分離+低溫分離的復(fù)合氦氣分離方法,結(jié)合膜分離高效性和低溫分離高回收率和高純度的特點(diǎn),將氦氣首先經(jīng)過膜分離技術(shù)進(jìn)行粗提純,然后采用低溫分離技術(shù)進(jìn)行精提純,滿足工業(yè)領(lǐng)域節(jié)能與高純的多重需要。
分子篩純化系統(tǒng)完成吸附雜質(zhì)、凈化空氣是通過吸附劑來實(shí)現(xiàn)的。純化器廠家在分子篩吸附器內(nèi)的吸附床上充填的吸附劑主要為沸石分子篩和活性氧化鋁,其中活性氧化鋁主要是吸收水分,商丘純化器分子篩吸附二氧化碳和乙炔等烴類雜質(zhì)。在相對濕度100%(即飽和) 的空氣中,活性氧化鋁的吸濕性能更優(yōu)于分子篩。在純化器的吸附床下層用活性氧化鋁吸附飽和空氣中的水分后,待水氣的濃度在氧化鋁處降低后,再利用上層的分子篩進(jìn)行深度吸附。分子篩吸附器凈化程度可達(dá)出口空氣露點(diǎn)及二氧化碳含量的工程指標(biāo)。
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