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氦氣提純是一項國際前沿研究領(lǐng)域,采用的方法有低溫冷凝、膜分離、變壓吸附、化學(xué)吸附等方法。我國企業(yè)在低溫研究的基礎(chǔ)上,突破低溫冷凝分離法的研究技術(shù)瓶頸,開發(fā)工業(yè)氦氣膜分離提純技術(shù)和設(shè)備,氮氣純化器廠家與國際巨頭在氦氣提純技術(shù)和設(shè)備方面展開競爭,并積極研究膜分離+低溫分離的復(fù)合氦氣分離方法,中山氮氣純化器結(jié)合膜分離高效性和低溫分離高回收率和高純度的特點,將氦氣首先經(jīng)過膜分離技術(shù)進行粗提純,然后采用低溫分離技術(shù)進行精提純,滿足工業(yè)領(lǐng)域節(jié)能與高純的多重需要。
當(dāng)氦氣含量增加導(dǎo)致氧氣含量低于19.5%時,患者先出現(xiàn)呼吸加快、注意力不集中、共濟失調(diào);繼之出現(xiàn)疲倦無力、煩躁不安、惡心、嘔吐、昏迷、抽搐,以致死亡。供應(yīng)氮氣純化器包裝的氣瓶上均有使用的年限,凡到期的氣瓶必須送往有部門進行安全檢驗,方能繼續(xù)使用。中山氮氣純化器每瓶氦氣在使用到尾氣時,應(yīng)保留瓶內(nèi)余壓在0.5MPa,更小不得低于0.25MPa余壓,應(yīng)將瓶閥關(guān)閉,以保證氣體質(zhì)量和使用安全。
由于一般液氬汽化后未經(jīng)過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過了此范圍,使用氬氣的客戶不知道其質(zhì)量,所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。供應(yīng)氮氣純化器有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何,氮氣純化器廠家只要經(jīng)過純化裝置的處理后,進入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。
目前主流的氦氣提純的方法主要有低溫精餾法、選擇吸附法、化學(xué)反應(yīng)法、薄膜擴散法。供應(yīng)氮氣純化器低溫精餾法是利用氣體的物理性質(zhì)的差異既每種氣體的沸點和凝固點不一樣,在低溫下冷凝獲得不同的氣體的組分,將氦氣的雜質(zhì)剔除。選擇吸附法則很容易理解,通過吸附劑對于每種雜質(zhì)吸附能力的不同,利用類似于“過濾”的原理,氮氣純化器廠家將氦氣提純,這種氦氣提純的方法一般使用硅膠、分子篩等作為吸附劑。
氣體提純系統(tǒng)氣體凈化提純系統(tǒng)將沼氣通過初步除水后,進入脫硫系統(tǒng),脫硫后的氣體除塵后加壓進入吸收塔,在特定的吸收劑和反應(yīng)條件下,氮氣純化器廠家調(diào)整氣體中甲烷濃度到90%,同時全部或部分除去氨、氮氧化物、硅氧烷等多種雜質(zhì)。氣體得到調(diào)整和凈化后,中山氮氣純化器經(jīng)冷卻、分離送入天然氣管網(wǎng);溶液經(jīng)自凈系統(tǒng)將雜質(zhì)分離出來,并在再生系統(tǒng)解吸出純度大于等于95%的二氧碳氣體。
半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。中山氮氣純化器氣體和化學(xué)品的純度在先進半導(dǎo)體和存儲設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。氮氣純化器廠家為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
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