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核磁共振成像儀(MRI)采用低溫超導(dǎo)磁體技術(shù)需液氦進(jìn)行冷卻,據(jù)統(tǒng)計(jì),核磁共振成像儀占了全球氦氣用量的34%,是終端使用行業(yè)。梅州純化雖然在發(fā)達(dá)國(guó)家核磁共振成像儀的需求量正在減少,但是發(fā)展中國(guó)家的需求量仍然強(qiáng)勁增長(zhǎng),從而保持了液氦的需求旺盛。供應(yīng)純化氦氣主要用于冷凝器、蒸發(fā)器、管道系統(tǒng)的檢漏。
純化價(jià)格首先使空氣通過(guò)過(guò)濾器除去塵埃等固體雜質(zhì),進(jìn)入壓縮機(jī)壓縮,再經(jīng)過(guò)分子篩凈化器除去水蒸氣和二氧化碳等雜質(zhì)氣體。在這里分子篩可使氮?dú)?、氧氣等較小分子通過(guò),起到篩選分子的作用。然后進(jìn)行冷卻、降壓,當(dāng)溫度降至—170℃左右時(shí),供應(yīng)純化空氣開(kāi)始部分液化進(jìn)入精餾塔,根據(jù)空氣中各氣體的不同沸點(diǎn)進(jìn)行分餾。液態(tài)氧的沸點(diǎn)比液態(tài)氮的沸點(diǎn)高,兩者相比液氮更易氣化。經(jīng)多步分餾可以得到99%以上的純氧,同時(shí)得到氮?dú)夂吞崛∠∮袣怏w的原料。
半導(dǎo)體器件變得越來(lái)越小,幾何結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜,使用的材料越來(lái)越多,給工藝氣體的純度帶來(lái)了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會(huì)對(duì)芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。梅州純化氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲(chǔ)設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。純化價(jià)格為了保持競(jìng)爭(zhēng)力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對(duì)污染物采取必要的凈化措施勢(shì)在必行。
梅州純化常用方法是低溫,冷凝法。此外,在設(shè)備研制過(guò)程中還采用了大量低溫領(lǐng)域的新技術(shù),包括高壓氦氣壓縮機(jī)的減振、耐低溫高壓紫銅管道特種焊接技術(shù)、低溫高壓活接密封技術(shù)等,以優(yōu)化產(chǎn)品。純化價(jià)格在此基礎(chǔ)上,通過(guò)在膜分離法提純技術(shù)上取得突破,通過(guò)復(fù)合提純分離方法,將純度≥10%的低純氦氣提純至99.5%以上,系統(tǒng)純化回收率≥60%。
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