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半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。淮北氮?dú)饧兓O(shè)備氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。氮?dú)饧兓O(shè)備價格為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
氦氣提純是一項國際前沿研究領(lǐng)域,采用的方法有低溫冷凝、膜分離、變壓吸附、化學(xué)吸附等方法。我國企業(yè)在低溫研究的基礎(chǔ)上,突破低溫冷凝分離法的研究技術(shù)瓶頸,開發(fā)工業(yè)氦氣膜分離提純技術(shù)和設(shè)備,氮?dú)饧兓O(shè)備價格與國際巨頭在氦氣提純技術(shù)和設(shè)備方面展開競爭,并積極研究膜分離+低溫分離的復(fù)合氦氣分離方法,淮北氮?dú)饧兓O(shè)備結(jié)合膜分離高效性和低溫分離高回收率和高純度的特點(diǎn),將氦氣首先經(jīng)過膜分離技術(shù)進(jìn)行粗提純,然后采用低溫分離技術(shù)進(jìn)行精提純,滿足工業(yè)領(lǐng)域節(jié)能與高純的多重需要。
當(dāng)氦氣含量增加導(dǎo)致氧氣含量低于19.5%時,患者先出現(xiàn)呼吸加快、注意力不集中、共濟(jì)失調(diào);繼之出現(xiàn)疲倦無力、煩躁不安、惡心、嘔吐、昏迷、抽搐,以致死亡。推薦氮?dú)饧兓O(shè)備包裝的氣瓶上均有使用的年限,凡到期的氣瓶必須送往有部門進(jìn)行安全檢驗,方能繼續(xù)使用。淮北氮?dú)饧兓O(shè)備每瓶氦氣在使用到尾氣時,應(yīng)保留瓶內(nèi)余壓在0.5MPa,更小不得低于0.25MPa余壓,應(yīng)將瓶閥關(guān)閉,以保證氣體質(zhì)量和使用安全。
分子篩純化系統(tǒng)完成吸附雜質(zhì)、凈化空氣是通過吸附劑來實現(xiàn)的。氮?dú)饧兓O(shè)備價格在分子篩吸附器內(nèi)的吸附床上充填的吸附劑主要為沸石分子篩和活性氧化鋁,其中活性氧化鋁主要是吸收水分,淮北氮?dú)饧兓O(shè)備分子篩吸附二氧化碳和乙炔等烴類雜質(zhì)。在相對濕度100%(即飽和) 的空氣中,活性氧化鋁的吸濕性能更優(yōu)于分子篩。在純化器的吸附床下層用活性氧化鋁吸附飽和空氣中的水分后,待水氣的濃度在氧化鋁處降低后,再利用上層的分子篩進(jìn)行深度吸附。分子篩吸附器凈化程度可達(dá)出口空氣露點(diǎn)及二氧化碳含量的工程指標(biāo)。
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