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氣體提純系統(tǒng)氣體凈化提純系統(tǒng)將沼氣通過初步除水后,進(jìn)入脫硫系統(tǒng),脫硫后的氣體除塵后加壓進(jìn)入吸收塔,在特定的吸收劑和反應(yīng)條件下,氮?dú)饧兓O(shè)備公司調(diào)整氣體中甲烷濃度到90%,同時全部或部分除去氨、氮氧化物、硅氧烷等多種雜質(zhì)。氣體得到調(diào)整和凈化后,亳州氮?dú)饧兓O(shè)備經(jīng)冷卻、分離送入天然氣管網(wǎng);溶液經(jīng)自凈系統(tǒng)將雜質(zhì)分離出來,并在再生系統(tǒng)解吸出純度大于等于95%的二氧碳?xì)怏w。
目前主流的氦氣提純的方法主要有低溫精餾法、選擇吸附法、化學(xué)反應(yīng)法、薄膜擴(kuò)散法。定制氮?dú)饧兓O(shè)備低溫精餾法是利用氣體的物理性質(zhì)的差異既每種氣體的沸點(diǎn)和凝固點(diǎn)不一樣,在低溫下冷凝獲得不同的氣體的組分,將氦氣的雜質(zhì)剔除。選擇吸附法則很容易理解,通過吸附劑對于每種雜質(zhì)吸附能力的不同,利用類似于“過濾”的原理,氮?dú)饧兓O(shè)備公司將氦氣提純,這種氦氣提純的方法一般使用硅膠、分子篩等作為吸附劑。
半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。亳州氮?dú)饧兓O(shè)備氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。氮?dú)饧兓O(shè)備公司為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
①如果混入了氯化氫氣體:定制氮?dú)饧兓O(shè)備將氣體通過飽和碳酸氫鈉溶液,使碳酸氫鈉和鹽酸反應(yīng),生成二氧化碳。②如果混入了二氧化硫:最簡單的方法是低溫分餾,二氧化硫的沸點(diǎn)高,可將它們分離。③如果混入了一氧化碳:氮?dú)饧兓O(shè)備公司可以讓混合氣通過灼熱的氧化銅,利用一氧化碳的還原性,還原氧化銅后生成二氧化碳。
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