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鹽城氣體提純?cè)O(shè)備催化劑:可以催化H2,CO,烴類等還原性氣體與O2結(jié)合生成水和CO2,一般用在雜質(zhì)含量較高時(shí),預(yù)處理掉大量的雜質(zhì)。脫氧吸附劑:可以以化學(xué)反應(yīng)的方式去除掉O2,以物理吸附方式去除掉水和CO2。一般經(jīng)此工序后產(chǎn)氣的純度已經(jīng)足夠使用了。供應(yīng)氣體提純?cè)O(shè)備吸氣劑:吸氣劑可以去除掉除了氬氣,氦氣等惰性氣體以外的所有氣體。(有些特制吸氣劑也不會(huì)吸收H2)主要針對(duì)N2,CH4等。
鹽城氣體提純?cè)O(shè)備就是使用活性金屬與氬氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng),消化掉氬氣中的氧氣,從而達(dá)到脫氧的目的,經(jīng)過分子篩吸收掉氬氣中的水份,使氬氣的含水量小于1ppm。供應(yīng)氣體提純?cè)O(shè)備采用吸氣劑。在一定溫度下,吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經(jīng)吸收處理后,氬氣的純度可達(dá)到6個(gè)九,這種保護(hù)氣體更適用于制作高純度的半導(dǎo)體的單晶硅。
①如果混入了氯化氫氣體:供應(yīng)氣體提純?cè)O(shè)備將氣體通過飽和碳酸氫鈉溶液,使碳酸氫鈉和鹽酸反應(yīng),生成二氧化碳。②如果混入了二氧化硫:最簡(jiǎn)單的方法是低溫分餾,二氧化硫的沸點(diǎn)高,可將它們分離。③如果混入了一氧化碳:氣體提純?cè)O(shè)備廠家可以讓混合氣通過灼熱的氧化銅,利用一氧化碳的還原性,還原氧化銅后生成二氧化碳。
由于一般液氬汽化后未經(jīng)過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時(shí)氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過了此范圍,使用氬氣的客戶不知道其質(zhì)量,所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。供應(yīng)氣體提純?cè)O(shè)備有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何,氣體提純?cè)O(shè)備廠家只要經(jīng)過純化裝置的處理后,進(jìn)入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。
氦氣提純是一項(xiàng)國(guó)際前沿研究領(lǐng)域,供應(yīng)氣體提純?cè)O(shè)備采用的方法有低溫冷凝、膜分離、變壓吸附、化學(xué)吸附等方法。我國(guó)企業(yè)在低溫研究的基礎(chǔ)上,突破低溫冷凝分離法的研究技術(shù)瓶頸,氣體提純?cè)O(shè)備廠家開發(fā)工業(yè)氦氣膜分離提純技術(shù)和設(shè)備,與國(guó)際巨頭在氦氣提純技術(shù)和設(shè)備方面展開競(jìng)爭(zhēng),并積極研究膜分離+低溫分離的復(fù)合氦氣分離方法,結(jié)合膜分離高效性和低溫分離高回收率和高純度的特點(diǎn),將氦氣首先經(jīng)過膜分離技術(shù)進(jìn)行粗提純,然后采用低溫分離技術(shù)進(jìn)行精提純,滿足工業(yè)領(lǐng)域節(jié)能與高純的多重需要。
目前主流的氦氣提純的方法主要有低溫精餾法、選擇吸附法、化學(xué)反應(yīng)法、薄膜擴(kuò)散法。供應(yīng)氣體提純?cè)O(shè)備低溫精餾法是利用氣體的物理性質(zhì)的差異既每種氣體的沸點(diǎn)和凝固點(diǎn)不一樣,在低溫下冷凝獲得不同的氣體的組分,將氦氣的雜質(zhì)剔除。選擇吸附法則很容易理解,通過吸附劑對(duì)于每種雜質(zhì)吸附能力的不同,利用類似于“過濾”的原理,氣體提純?cè)O(shè)備廠家將氦氣提純,這種氦氣提純的方法一般使用硅膠、分子篩等作為吸附劑。
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