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氣體純化設備
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濱州定制氬氣純化設備公司

2020-07-14
濱州定制氬氣純化設備公司

氦氣提純是一項國際前沿研究領域,定制氬氣純化設備采用的方法有低溫冷凝、膜分離、變壓吸附、化學吸附等方法。我國企業(yè)在低溫研究的基礎上,突破低溫冷凝分離法的研究技術瓶頸,氬氣純化設備公司開發(fā)工業(yè)氦氣膜分離提純技術和設備,與國際巨頭在氦氣提純技術和設備方面展開競爭,并積極研究膜分離+低溫分離的復合氦氣分離方法,結合膜分離高效性和低溫分離高回收率和高純度的特點,將氦氣首先經過膜分離技術進行粗提純,然后采用低溫分離技術進行精提純,滿足工業(yè)領域節(jié)能與高純的多重需要。

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目前主流的氦氣提純的方法主要有低溫精餾法、選擇吸附法、化學反應法、薄膜擴散法。定制氬氣純化設備低溫精餾法是利用氣體的物理性質的差異既每種氣體的沸點和凝固點不一樣,在低溫下冷凝獲得不同的氣體的組分,將氦氣的雜質剔除。選擇吸附法則很容易理解,通過吸附劑對于每種雜質吸附能力的不同,利用類似于“過濾”的原理,氬氣純化設備公司將氦氣提純,這種氦氣提純的方法一般使用硅膠、分子篩等作為吸附劑。

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半導體器件變得越來越小,幾何結構越來越復雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應中有微量污染物,也會對芯片性能產生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。濱州氬氣純化設備氣體和化學品的純度在先進半導體和存儲設備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。氬氣純化設備公司為了保持競爭力,許多半導體制造商提高了產量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。

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空分設備中,分子篩純化系統(tǒng)設置在空氣預冷系統(tǒng)之后。被壓縮的空氣經過空氣預冷系統(tǒng)冷卻后,空氣中的水分、二氧化碳、乙炔和其他碳氫化合物等仍然存在。氬氣純化設備公司如果空氣不經純化處理,被凍結下來的水分和二氧化碳沉積在低溫換熱器、透平膨脹機或精餾塔里,就會堵塞通道、管路和閥門,乙炔積聚在液氧中更有爆炸的危險。定制氬氣純化設備作用就是清除空氣中所含的水分、乙炔、二氧化碳、丙烯和丁烯等雜質,從而保證空分設備長期安全、可靠的運行。

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濱州氬氣純化設備就是使用活性金屬與氬氣中的氧氣進行反應,消化掉氬氣中的氧氣,從而達到脫氧的目的,經過分子篩吸收掉氬氣中的水份,使氬氣的含水量小于1ppm。定制氬氣純化設備采用吸氣劑。在一定溫度下,吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經吸收處理后,氬氣的純度可達到6個九,這種保護氣體更適用于制作高純度的半導體的單晶硅。

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