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電子特氣的分離和提純方法原理上可分為精餾分離、分子篩吸附分離以及膜分離三大類,在實(shí)際提純分離過程中,為了達(dá)到更好的分離效率,德州氮?dú)鍤怏w純化往往會(huì)利用多種分離方法進(jìn)行組合,工藝更為復(fù)雜。氮?dú)鍤怏w純化廠家隨著電子特氣的純度越來越高,對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求,檢測限從最早的ppm級(jí)已經(jīng)發(fā)展到ppt級(jí)。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line),原位分析(insitu)等幾個(gè)階段。對于高純度電子氣體的分析,國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測,因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。
當(dāng)咱們在使用工藝氣體來進(jìn)行作業(yè)時(shí),其實(shí)都是經(jīng)過了重重的檢測后才能正式銷售的。其中就有幾種比較常見的檢驗(yàn)方法。選用背壓法檢漏時(shí),氮?dú)鍤怏w純化廠家首要將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中,浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天,假如被檢產(chǎn)品外表有漏孔,德州氮?dú)鍤怏w純化氦氣便經(jīng)過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中,使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。取出被檢產(chǎn)品,將外表的剩余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi),被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)經(jīng)過漏孔走漏到真空容器,再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,然后完成被檢產(chǎn)品總漏率丈量。檢漏儀給出的漏率值為丈量漏率,需求經(jīng)過換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效規(guī)范漏率。
德州氮?dú)鍤怏w純化常用方法是低溫,冷凝法。此外,在設(shè)備研制過程中還采用了大量低溫領(lǐng)域的新技術(shù),包括高壓氦氣壓縮機(jī)的減振、耐低溫高壓紫銅管道特種焊接技術(shù)、低溫高壓活接密封技術(shù)等,以優(yōu)化產(chǎn)品。氮?dú)鍤怏w純化廠家在此基礎(chǔ)上,通過在膜分離法提純技術(shù)上取得突破,通過復(fù)合提純分離方法,將純度≥10%的低純氦氣提純至99.5%以上,系統(tǒng)純化回收率≥60%。
目前主流的氦氣提純的方法主要有低溫精餾法、選擇吸附法、化學(xué)反應(yīng)法、薄膜擴(kuò)散法。定制氮?dú)鍤怏w純化低溫精餾法是利用氣體的物理性質(zhì)的差異既每種氣體的沸點(diǎn)和凝固點(diǎn)不一樣,在低溫下冷凝獲得不同的氣體的組分,將氦氣的雜質(zhì)剔除。選擇吸附法則很容易理解,通過吸附劑對于每種雜質(zhì)吸附能力的不同,利用類似于“過濾”的原理,氮?dú)鍤怏w純化廠家將氦氣提純,這種氦氣提純的方法一般使用硅膠、分子篩等作為吸附劑。
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