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氧化鋁對空氣中的酸性組分( 例如SO2、NO2、Hcl等)部分可以吸附,而這些酸性組分對分子篩是有害的,因為它可以和分子篩吸附的水分生成酸,使分子篩的晶格受到破壞,即分子篩中毒,泰安純化設備損分子篩對水較氧化鋁有較強的親合力,因而解吸時消耗的能量要多;用氧化鋁來去除水,可降低再生能耗。害了分子篩的性能。純化設備廠家采用雙層床后,預先用氧化鋁將水吸附,這就對分子篩起了良好的保護作用,延長分子篩的使用壽命。
泰安純化設備現(xiàn)代的工藝制作加工上面有不少的情況下,都是需要不同規(guī)格的氣體來進行輔助作用。在不銹鋼熔煉制材過程中,每噸可吸收大約200g的氣體。不銹鋼材加工完畢,不只其表面粘有各種污染物,而且在其金屬晶格內(nèi)也吸留有必定量的氣體。純化設備廠家當管路中有氣流通過期,金屬所吸留的這部分氣體會從頭進入氣流中,污染純真氣體。當管內(nèi)氣流為不接連活動時,管材對所通過的氣體構成壓力下吸附,氣流接連通過期,管材所吸附的氣體又構成降壓解析,而解析的氣體相同作為雜質(zhì)進入管內(nèi)純真氣體中。一起,吸附、解析循環(huán)往復,使得管材內(nèi)表面金屬也會發(fā)作必定的粉末,這種金屬粉塵粒子相同污染管內(nèi)純真的氣體。
泰安純化設備常用方法是低溫,冷凝法。此外,在設備研制過程中還采用了大量低溫領域的新技術,包括高壓氦氣壓縮機的減振、耐低溫高壓紫銅管道特種焊接技術、低溫高壓活接密封技術等,以優(yōu)化產(chǎn)品。純化設備廠家在此基礎上,通過在膜分離法提純技術上取得突破,通過復合提純分離方法,將純度≥10%的低純氦氣提純至99.5%以上,系統(tǒng)純化回收率≥60%。
半導體器件變得越來越小,幾何結構越來越復雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體?,F(xiàn)在,即使氣體供應中有微量污染物,也會對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。泰安純化設備氣體和化學品的純度在先進半導體和存儲設備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。純化設備廠家為了保持競爭力,許多半導體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。
分子篩純化系統(tǒng)完成吸附雜質(zhì)、凈化空氣是通過吸附劑來實現(xiàn)的。純化設備廠家在分子篩吸附器內(nèi)的吸附床上充填的吸附劑主要為沸石分子篩和活性氧化鋁,其中活性氧化鋁主要是吸收水分,泰安純化設備分子篩吸附二氧化碳和乙炔等烴類雜質(zhì)。在相對濕度100%(即飽和) 的空氣中,活性氧化鋁的吸濕性能更優(yōu)于分子篩。在純化器的吸附床下層用活性氧化鋁吸附飽和空氣中的水分后,待水氣的濃度在氧化鋁處降低后,再利用上層的分子篩進行深度吸附。分子篩吸附器凈化程度可達出口空氣露點及二氧化碳含量的工程指標。
純化設備廠家首先使空氣通過過濾器除去塵埃等固體雜質(zhì),進入壓縮機壓縮,再經(jīng)過分子篩凈化器除去水蒸氣和二氧化碳等雜質(zhì)氣體。在這里分子篩可使氮氣、氧氣等較小分子通過,起到篩選分子的作用。然后進行冷卻、降壓,當溫度降至—170℃左右時,定制純化設備空氣開始部分液化進入精餾塔,根據(jù)空氣中各氣體的不同沸點進行分餾。液態(tài)氧的沸點比液態(tài)氮的沸點高,兩者相比液氮更易氣化。經(jīng)多步分餾可以得到99%以上的純氧,同時得到氮氣和提取稀有氣體的原料。
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