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氣體純化設(shè)備
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日照供應(yīng)氣體純化公司

2020-06-20
日照供應(yīng)氣體純化公司

目前主流的氦氣提純的方法主要有低溫精餾法、選擇吸附法、化學(xué)反應(yīng)法、薄膜擴(kuò)散法。供應(yīng)氣體純化低溫精餾法是利用氣體的物理性質(zhì)的差異既每種氣體的沸點(diǎn)和凝固點(diǎn)不一樣,在低溫下冷凝獲得不同的氣體的組分,將氦氣的雜質(zhì)剔除。選擇吸附法則很容易理解,通過吸附劑對于每種雜質(zhì)吸附能力的不同,利用類似于“過濾”的原理,氣體純化公司將氦氣提純,這種氦氣提純的方法一般使用硅膠、分子篩等作為吸附劑。

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電子特氣的分離和提純方法原理上可分為精餾分離、分子篩吸附分離以及膜分離三大類,在實(shí)際提純分離過程中,為了達(dá)到更好的分離效率,日照氣體純化往往會(huì)利用多種分離方法進(jìn)行組合,工藝更為復(fù)雜。氣體純化公司隨著電子特氣的純度越來越高,對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求,檢測限從最早的ppm級已經(jīng)發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line),原位分析(insitu)等幾個(gè)階段。對于高純度電子氣體的分析,國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測,因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

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半導(dǎo)體器件變得越來越小,幾何結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜,使用的材料越來越多,給工藝氣體的純度帶來了更大的挑戰(zhàn)。更多的工藝步驟意味著消耗更多的工藝氣體。現(xiàn)在,即使氣體供應(yīng)中有微量污染物,也會(huì)對芯片性能產(chǎn)生不可忽略的影響。因此,工藝氣體凈化顯的日益重要。日照氣體純化氣體和化學(xué)品的純度在先進(jìn)半導(dǎo)體和存儲(chǔ)設(shè)備的性能和可靠性方面發(fā)揮著重要作用。氣體純化公司為了保持競爭力,許多半導(dǎo)體制造商提高了產(chǎn)量,從而增加了氣體的總消耗量。因此,對污染物采取必要的凈化措施勢在必行。

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特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下,通過化學(xué)反應(yīng)得到氣體粗產(chǎn)品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產(chǎn)品精制成更高純度的產(chǎn)品。氣體純化公司氣瓶處理是根據(jù)載氣性質(zhì)及需求的不同,對氣瓶內(nèi)部、內(nèi)壁表面及外觀進(jìn)行處理的過程,以保證氣體存儲(chǔ)、運(yùn)輸過程中產(chǎn)品的穩(wěn)定。日照氣體純化氣體充裝是指通過壓力差將氣體充入氣瓶等壓力容器;氣體分析檢測即為對氣體的成分進(jìn)行分析、檢測的過程。

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日照氣體純化常用方法是低溫,冷凝法。此外,在設(shè)備研制過程中還采用了大量低溫領(lǐng)域的新技術(shù),包括高壓氦氣壓縮機(jī)的減振、耐低溫高壓紫銅管道特種焊接技術(shù)、低溫高壓活接密封技術(shù)等,以優(yōu)化產(chǎn)品。氣體純化公司在此基礎(chǔ)上,通過在膜分離法提純技術(shù)上取得突破,通過復(fù)合提純分離方法,將純度≥10%的低純氦氣提純至99.5%以上,系統(tǒng)純化回收率≥60%。

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鹽城市海之諾氣體設(shè)備有限公司

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